最良の NA と高分解能の組み合わせ
CHRocodile CLS 2 は、傾斜の大きい複雑な面を、超高速でシャドウイングなしに測定できます。測定が難しい素材も含め、ほぼすべての素材を超高精度・高分解能で測定でき、その汎用性の高さによってさまざまな測定作業に対応します。さらに、CHRocodile CLS 2 は、たとえばスマート工場において、運用コストの削減、時間の短縮、100% の制御率の実現に貢献します。
適切な用途 CHRocodile CLS 2
CHRocodile CLS 2 は、プローブカード、ワイヤーボンド、バンプ、ウェーハエッジの検査、ウェーハ、ガラス、金属の傷などの外観検査や品質検査、冠状動脈のステントなどを対象とした半導体検査用途に最適です。さらにこれは、同等の (競争他社の) デバイスよりもはるかに小型で軽量です。
アドバンテージ
- 高速、最高度の精度:
2,160 万の測定ポイントと最大 36,000 ライン/秒のスキャン速度を備えた CHRocodile CLS 2 は、サイクル時間を重視し、極めて高い側面および軸方向の分解能での超精密測定データを必要とするインライン品質管理に最適です。 - 優れた柔軟性：
この共焦点ラインセンサーは汎用性が高いため、形状や厚み測定、組成物、層、透明素材下の表面、複雑な形状など、さまざまな測定作業に適しています。拡散性が高い面、粗面、着色面、研磨面、反射面などの測定が困難な素材でも、CHRocodile CLS 2 により正確な結果を高速で得ることができます。 - 優れた柔軟性：
この共焦点ラインセンサーは汎用性が高いため、形状や厚み測定、組成物、層、透明素材下の表面、複雑な形状など、さまざまな測定作業に適しています。拡散性が高い面、粗面、着色面、研磨面、反射面などの測定が困難な素材でも、CHRocodile CLS 2 により正確な結果を高速で得ることができます。 - シャドウイングなし：
このラインスキャナーの同軸技術では、入射光と検出光が同じ経路を通るため、入射ビームと検出ビームに角度の違いがありません。これにより、三角形のセットアップではシャドウイングが問題となるような形状においても測定が可能になりました。 - 高いポイント密度：
CHRocodile CLS 2 は、1,200 ポイント/ラインでオブジェクトをスキャンします。画素ピッチに匹敵する傑出した側面分解能と優れた軸分解能の組み合わせにより、高密度で冗長性のない情報による、最高品質の測定を実現します。
テクニカルデータ
- 測定レート (ライン/秒)：最大 36,000 ライン/秒
- 測定範囲：680 ～ 10,600 µm (使用する光学プローブに応じる)
- 側面分解能：0.4 ～ 2 µm (使用する光学プローブに応じる)
