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Interferometrie an Seifenblasen

干渉法

超精密な厚みと距離の測定

干渉法の動作原理

干渉計は、パス長がわずかに異なる同じ光源の 2 つ以上のビームが重ね合わされるときに発生する効果を利用します。

測定したスペクトルとその変調周波数には、システムが適用される測定タスクに応じて、距離または層の厚さのデータが含まれます。

スペクトルをフーリエ変換することにより、最大 70 kHz の速度で測定することが可能です。
干渉法は、測定の精度が対象物までの距離に依存しないため、大面積の測定に最適です。

 

 

干渉センサーの利点

  • 最大 70 kHz の高速インライン検査
  • 熱、湿度、振動の影響を受けないため、過酷な測定環境に適しており、水、油、酸などの液体中でも対応できます
  • 品質保証、表面および厚さ測定に適しています
  • 多層ラミネートガラスを測定できる唯一/独自の光学技術
  • 0.6 〜 15,000 µm の超高精度厚さ測定
  • すべての赤外線透過材料の厚さ測定 (ウエハー検査プロセスなど)
  • 定点または移動する測定スポット
  • パッシブ光学プローブ - コンパクトでパッシブ、摩耗なし

干渉センサーのメリットの詳細については、製品の詳細ページをご覧ください。

干渉センサー

CHRocodile 2 IT

  • 超高速
  • 広い測定範囲
  • 多様な表面での優位性
  • ニーズに最適なプローブ

CHRocodile 2 K

  • プラスチックの肉厚を測定
  • 精度の高い測定
  • コンパクトな設計
  • ニーズに最適なプローブ

Flying Spot Scanner

  • X-Y モーションシステムを置き換え可能
  • あらゆる種類の素材に対して独自のスキャンパスを設定する
  • 時間と投資金額を節約

光計測のさらなる技術

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