ラインセンサー

CHRocodile CLS ラインセンサーは、工業製造用途での正確な 3D インライン検査に最適なツールです。センサーは、ラインに沿ってサンプルの超精密な距離と層厚データを提供します。サンプルの 3D 構造は、高速ラインスキャンにより非常に短時間で判別されます。ラインセンサーのクロマティック共焦点測定テクノロジーは、非常に高い横方向および軸方向の分解能のデータを提供し、あらゆる種類の材料の測定を可能にし、複雑な形状であってもシャドウイング効果なしに機能します。このラインスキャンセンサーの一般的なアプリケーションには、ディスプレイの測定や半導体チップのトポグラフィーの判別などがあります。

CHRocodile CLS 2Pro は、高速、長いライン長、高角度対応といった特徴を最適に組み合わせた、多用途の主力製品です。CHRocodile CLS 2 は、高速性と測定精度を兼ね備えています。CHRocodile CLS HS は、特に反射の少ないサンプルや表面での正確な測定が可能です。CLS 製品ファミリーは、幅広く多様な測定作業に適しており、同軸セットアップであるためシャドウイングがありません。

当社の製品

ラインセンサーCHRocodile CLS 2Pro

  • 高速検査のための独自のライン長-NA の組み合わせ
  • 幅広い検査用途に対応
  • 高スループット

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高速3D共焦点ラインセンサー CHRocodile CLS 2

  • 最良の NA と高分解能の組み合わせ 
  • ほぼすべての素材で最高度の精度と高分解能を実現 
  • サイクル時間を重視する工程に適する

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CHRocodile CLS 2.0 CHRocodile CLS 2.0 コンフォーカルラインセンサーのイメージ図

CHRocodile CLS HS

Product picture CHRocodile CLS HS
  • 超精密なインライン品質管理
  • 高い側面分解能
  • インライン測定用
  • 角度付きバージョン

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Precitec ラインセンサのポートフォリオ

ラインセンサー CHRocodile CLS 2 Pro

  • 長いライン長と、最大 45° の高角度対応 (8 mm で 38° など)
  • 最大 36,000 ライン/秒でのスキャン
  • 2100 万の測定ポイントによる高いポイント密度
  • 優れた側面分解能

ラインセンサー CHRocodile CLS 2

  • 高速、高い高角度対応、優れた分解能
  • CLS デバイスで最も高い開口数の光学プローブ
  • 2100 万の測定ポイントによる高いポイント密度

ラインセンサー CHRocodile CLS HS

  •   傑出した側面分解能
  • チャネルクロストークなし
  • 比較的高速

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