ラインセンサー

CHRocodile CLS ラインセンサーは、工業製造用途での正確な 3D インライン検査に最適なツールです。センサーは、ラインに沿ってサンプルの超精密な距離と層厚データを提供します。サンプルの 3D 構造は、高速ラインスキャンにより非常に短時間で判別されます。ラインセンサーのクロマティック共焦点測定テクノロジーは、非常に高い横方向および軸方向の分解能のデータを提供し、あらゆる種類の材料の測定を可能にし、複雑な形状であってもシャドウイング効果なしに機能します。このラインスキャンセンサーの一般的なアプリケーションには、ディスプレイの測定や半導体チップのトポグラフィーの判別などがあります。

 

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CHRocodile CLS | CLS HS

CHRocodile CLS
  • シャドウイング効果なし
  • 卓越した側面分解能
  • 卓越した品質の高開口数光学プローブ
  • 高速
  • 角度付きバージョン

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