ラインセンサー
CHRocodile CLS ラインセンサーは、工業製造用途での正確な 3D インライン検査に最適なツールです。センサーは、ラインに沿ってサンプルの超精密な距離と層厚データを提供します。サンプルの 3D 構造は、高速ラインスキャンにより非常に短時間で判別されます。ラインセンサーのクロマティック共焦点測定テクノロジーは、非常に高い横方向および軸方向の分解能のデータを提供し、あらゆる種類の材料の測定を可能にし、複雑な形状であってもシャドウイング効果なしに機能します。このラインスキャンセンサーの一般的なアプリケーションには、ディスプレイの測定や半導体チップのトポグラフィーの判別などがあります。
CHRocodile CLS 2Pro は、高速、長いライン長、高角度対応といった特徴を最適に組み合わせた、多用途の主力製品です。CHRocodile CLS 2 は、高速性と測定精度を兼ね備えています。CHRocodile CLS HS は、特に反射の少ないサンプルや表面での正確な測定が可能です。CLS 製品ファミリーは、幅広く多様な測定作業に適しており、同軸セットアップであるためシャドウイングがありません。
当社の製品
ラインセンサーCHRocodile CLS 2Pro
- 高速検査のための独自のライン長-NA の組み合わせ
- 幅広い検査用途に対応
- 高スループット
高速3D共焦点ラインセンサー CHRocodile CLS 2
- 最良の NA と高分解能の組み合わせ
- ほぼすべての素材で最高度の精度と高分解能を実現
- サイクル時間を重視する工程に適する
CHRocodile CLS HS
- 超精密なインライン品質管理
- 高い側面分解能
- インライン測定用
- 角度付きバージョン
Precitec ラインセンサのポートフォリオ
ラインセンサー CHRocodile CLS 2 Pro
- 長いライン長と、最大 45° の高角度対応 (8 mm で 38° など)
- 最大 36,000 ライン/秒でのスキャン
- 2100 万の測定ポイントによる高いポイント密度
- 優れた側面分解能
ラインセンサー CHRocodile CLS 2
- 高速、高い高角度対応、優れた分解能
- CLS デバイスで最も高い開口数の光学プローブ
- 2100 万の測定ポイントによる高いポイント密度
ラインセンサー CHRocodile CLS HS
- 傑出した側面分解能
- チャネルクロストークなし
- 比較的高速