Meilleure ON combinée à une haute résolution
Le CHRocodile CLS 2 vous permet de mesurer des surfaces complexes avec des pentes élevées à très grande vitesse et sans ombrage. Il mesure avec une précision extrême et une haute résolution sur presque tous les matériaux, même les plus difficiles, et sa polyvalence permet une grande variété de tâches de mesure. De plus, le CLS 2 contribue à réduire les coûts opérationnels, à gagner du temps et à assurer un contrôle à 100 % dans les usines intelligentes, par exemple.
Applications possibles CHRocodile CLS 2.0
Le CLS 2 convient parfaitement aux applications dans le domaine des semi-conducteurs, notamment l'inspection de probe cards, des wire bonds, de bumps, des bords de wafer, les inspections cosmétiques et de qualité, par exemple les rayures sur les wafer, le verre ou le métal et les stents pour les vaisseaux coronariens. En outre, il est beaucoup plus petit et plus léger que les appareils alternatifs (concurrents).
Avantages
- Vitesse élevée, précision maximale
Avec ses 21,6 millions de points de mesure et une vitesse de balayage pouvant atteindre 36 000 lignes par seconde, le CLS 2.0 est parfaitement adapté aux contrôles de qualité en ligne lorsque le temps de cycle est critique et que des données de mesure ultra-précises avec une résolution latérale et axiale extrêmement élevée sont requises. - Grande flexibilité
La polyvalence de ce capteur ligne confocal le rend idéal pour une grande variété de tâches de mesure, par exemple les mesures de topographie et d'épaisseur, les compositions, les couches, les surfaces sous des matériaux transparents et les géométries complexes. Même sur des matériaux difficiles, par exemple des surfaces diffusantes, rugueuses, colorées, polies ou réfléchissantes, le CLS 2.0 fournit des résultats précis à grande vitesse. - Pas d'ombrage
Grâce à la technologie coaxiale de ce capteur ligne, la lumière entrante et la lumière détectée suivent le même chemin, de sorte qu'il n'y a pas d'angle entre le faisceau entrant et le faisceau détecté. Cela permet de mesurer diverses géométries pour lesquelles l'ombre serait un problème avec une configuration triangulaire. - Sondes optiques facilement interchangeables
Grâce à trois sondes optiques facilement interchangeables, vous disposez de la sonde appropriée pour chaque tâche de mesure, avec un minimum d'efforts. Vous pouvez choisir une longue ligne allant jusqu'à 12 mm pour l'inspection rapide de grandes pièces ou une ligne plus courte avec une ouverture numérique exceptionnelle allant jusqu'à 50°. - Haute densité de points
Le CLS 2.0 numérise les objets à raison de 1 200 points par ligne. La combinaison d'une résolution latérale exceptionnelle comparable au pas du pixel et d'une excellente résolution axiale permet d'obtenir des mesures de la plus haute qualité avec une densité élevée d'informations non redondantes.
Données techniques
- Vitesse de mesure (lignes par seconde) : jusqu'à 36 000 lignes par seconde
- Plage de mesure : 680 µm à 10,600 µm, en fonction de la sonde optique utilisée
- Résolution latérale : 0,4 - 2 µm, en fonction de la sonde optique utilisée
