Konfokaler 3D Liniensensor für High Speed Inspektion
Beste Numerische Apertur kombiniert mit hoher Auflösung
Mit dem CHRocodile CLS 2 können Sie komplexe Oberflächen mit großen Steigungen mit sehr hoher Geschwindigkeit und ohne Abschattung messen. Es misst mit äußerster Präzision und hoher Auflösung auf fast allen Materialien, auch auf schwierigen. Seine Vielseitigkeit ermöglicht eine Vielzahl von Messaufgaben. Darüber hinaus hilft das CHRocodile CLS 2 die Betriebskosten zu senken, Zeit zu sparen und eine 100%ige Kontrolle zu gewährleisten, z. B. in intelligenten Fabriken.
Geeignete Anwendungen des CHRocodile CLS 2
Das CHRocodile CLS 2 eignet sich hervorragend für Anwendungen in der Halbleiterindustrie, einschließlich der Inspektion von Probe Cards, Drahtbonds, Bumps, Waferkanten, kosmetische und Qualitätsinspektionen, z. B. Kratzer auf Wafern, Glas oder Metall und Stents für Herzkranzgefäße. Außerdem ist es viel kleiner und leichter als alternative (konkurrierende) Geräte.
Vorteile
- High Speed, höchste Präzision:
Mit seinen 21,6 Millionen Messpunkten und einer Scangeschwindigkeit von bis zu 36.000 Zeilen pro Sekunde eignet sich das CHRocodile CLS 2 ideal für Inline-Qualitätskontrollen, bei denen die Zykluszeit kritisch ist und ultrapräzise Messdaten mit einer extrem hohen lateralen und axialen Auflösung erforderlich sind. - Große Flexibilität:
Die Vielseitigkeit dieses konfokalen Zeilensensors macht ihn ideal für eine Vielzahl von Messaufgaben, z. B. Topografie- und Dickenmessungen, Zusammensetzungen (Materialaufbauten), Schichtendicken, Oberflächen unter transparenten Materialien und komplexe Geometrien. Selbst auf schwierigen Materialien, z. B. diffusen, rauen, farbigen, polierten oder reflektierenden Oberflächen, liefert das CHRocodile CLS 2 genaue Ergebnisse bei hoher Geschwindigkeit. - Keine Abschattung:
Bei der koaxialen Technologie dieses Zeilenscanners folgen das einfallende und das detektierte Licht dem selben Pfad, so dass kein Winkel zwischen dem einfallenden und dem detektierten Strahl besteht. Dies ermöglicht die Messung verschiedener Geometrien, bei denen Abschattungen bei einer triangulären Anordnung ein Problem darstellen würden. - Einfach auswechselbare optische Messköpfe:
Mit drei leicht austauschbaren optischen Messköpfen haben Sie für jede Messaufgabe den richtigen - mit minimalem Aufwand. Sie können eine lange Linie von bis zu 12 mm für die schnelle Prüfung großer Teile oder eine kürzere Linie mit einer hervorragenden Numerischen Apertur von bis zu 50° wählen. - Hohe Punktdichte:
Das CHRocodile CLS 2 scannt Objekte mit 1.200 Punkten pro Zeile. Die Kombination aus hervorragender lateraler Auflösung, die mit dem Pixelabstand vergleichbar ist, und exzellenter axialer Auflösung liefert Messungen von höchster Qualität mit einer hohen Dichte an nicht redundanten Informationen.
Technische Daten
- Messrate (Linien pro Sekunde): bis zu 36.000 Linien/Sekunde
- Messbereich: 680 µm bis 10.600 µm, abhängig vom verwendeten optischen Messkopf
- Laterale Auflösung: 0,4 µm - 2 µm, abhängig vom verwendeten optischen Messkopf
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