Liniensensoren

Die CHRocodile CLS-Liniensensoren sind die idealen Werkzeuge für eine genaue und zuverlässige 3D-Inline-Inspektion in einem breiten Spektrum von Fertigungsanwendungen. Sie liefern präzise Abstands- und Schichtdickendaten eines Messobjektes entlang einer Linie. Ihre Scangeschwindigkeit erlaubt es, die 3D-Struktur dieser in sehr kurzer Zeit zu bestimmen. Die chromatisch-konfokale Messtechnik liefert Daten mit extrem hoher lateraler und axialer Auflösung, ermöglicht die Messung beliebiger Materialien und funktioniert ohne Abschattungseffekte - auch bei komplexen Geometrien. Typische Anwendungen für diese Liniensensoren sind die Vermessung von Displays oder die Bestimmung der Topografie von Halbleiterchips.

Das CHRocodile CLS 2 Pro ist ein vielseitiges Arbeitstier, das die optimale Kombination aus hoher Geschwindigkeit, großer Linienlänge und einem hohen Akzeptanzwinkel bietet. Das CHRocodile CLS 2 kombiniert sehr hohe Geschwindigkeit mit Messgenauigkeit, während das CHRocodile CLS HS Präzisionsmessungen ermöglicht, insbesondere bei dunklen Proben und Oberflächen. Die gesamte CLS-Familie eignet sich für eine Vielzahl von Messaufgaben und gewährleistet dank des koaxialen Aufbaus Abschattungsfreiheit.

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Liniensensor CHRocodile CLS 2 Pro

• Einzigartige Kombination aus hoher Linienlänge und bis zu 45° Akzeptanzwinkel, z.B. 8 mm mit 38°
• Scannt mit bis zu 36.000 Linien pro Sekunde
• Hohe Punktdichte von 21 Millionen Messpunkten
• Excelente laterale Auflösung

Liniensensor CHRocodile CLS 2

• High speed, hoher Öffnungswinkel und hervorragende Auflösung
• Optische Messköpfen mit der höchsten numerischen Apertur aller CHRocodile CLS-Geräte
• Hohe Punktdichte von 21 Millionen Messpunkten

Liniensensor CHRocodile CLS HS

• Herausragende laterale Auflösung
• Kein Übersprechen zwischen den Kanälen
• Relativ hohe Geschwindigkeit