フライングスポットスキャナー310は、12インチウェーハの反り、曲がりを1回のスキャンで測定します。

3D 計測 - エリアスキャンセンサー

Flying Spot Scanner 310

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超短サイクルタイムでのウエハの曲がり、反り、TTV、および品質の検査

FSS 310 は、OCT と広視野スキャンを独自に組み合わせており、超精密測定システムは一般に非常に低速であると同時にかなり高価であるという問題を解消します。

FSS 310 は、視野内に柔軟で高速移動する測定ポイントがあるため、精度を損なうことなく、非常に短いサイクルタイムで ROI 検査を行うことができます。このデバイスは、1 回のスキャンで 12 インチのウエハの総厚変動 (TTV)、曲がり、反り、ボイドを測定します。

Flying Spot Scanner 310 と CHRocodile 2 IT センサーによるウェハーの計測
Flying Spot Scanner 310 エリアプローブ(左側から
フライングスポットスキャナー310は、12インチウェーハの反り、曲がりを1回のスキャンで測定します。

Advantages

  • 高速非接触 ROI 検査310 mmという巨大なスキャン領域を持つ FSS 310 は、標準的なアプリケーションにおいて 12 インチウエハの TTV、曲がり、反り、ボイドを 10 秒未満でチェックし、1 時間あたり 300 枚を超えるウエハのスループットを実現します (ハンドリング時間を含む)。
    従来精密な軸をもつXYステージを使用した直線方向のスキャンパスは非常に長いですが、可動ミラーシステムの回転運動に置き換えられたことにより、測定時間が大幅に短縮されます。
  • 使いやすさ
    FSS 310 と光学センサ CHRocodile 2 IT は、インシステムおよびオフラインシステムに簡単に統合できるスタンドアロンパッケージを形成しています。FSS 310 による、カスタマイズされたスキャン手順を実行するために必要とされる CHRocodile 2 IT コントローラへの接続は、1 つのみです。
    複数のソフトウェアインターフェイスとツールにより、アプリケーションを簡単にセットアップできます。定義された測定タスクのリストは光学センサに保存され、ソフトウェアが結果を視覚化する前にプローブを制御します。
  • インライン検査の優れた柔軟性
    FSS 310 は、すべての重要な半導体材料 (金属を除く) を貫通するため、ウエハの片面からの測定ができ、ウエハの裏側や後方の対象物を測定することもできます。
    追加の軸や精密なハードウェアを必要としないため、自動化またはインラインアプリケーションに簡単に統合でき、また、超高速 ROI 検査ができるため、生産のサイクルタイムに影響を与えません。
  • 幅広い適用性
    CHR 2 IT ファミリーのデバイスと組み合わせると、ユーザーがプログラム可能な完全に可変のスキャン軌跡により、Si、ドープ Si、GaAs、および SiC ウエハの厚さと距離を測定できます。
    FSS は曲がり、反り、TTV を測定するだけでなく、ウエハ上のボイドを検出し、半導体コンポーネントコーティングの厚さ測定 (ウエハの部分フォリエーションなど) を実行し、さらに処理を進める前にウエハ上の個々のダイの曲がりを測定します。

Technical data

  • 測定値: 厚み、距離
  • 測定レート: 最大 70,000 Hz
  •  測定範囲: 使用する CHRocodile 2 IT センサに依存
  •  側面分解能: 20 µm (CHRocodile 2 IT DW)
  • ワーキングディスタンス: 150 mm
  •  最大ジャンプ速度: 10 m/s
  • スキャン領域 (直径): 310 mm
  • 開口数: 0.018  
  • 表面に対する測定角度: 90° +/- 1°
  •  光学系を含む外形寸法 (高さ×奥行き): 742 mm × 360 mm

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