Veröffentlichungen

The principle of coaxial interferometric coating thickness measurement

3D-Messtechnik

22.03.2000

Koaxiale interferometrische Schichtdickenmessung

 

Ein neuer Sensor mit koaxialem Strahlengang ermöglicht die berührungslose, hochauflösende Messung der Dicke transparenter Schichten in einem Bereich…

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