Veröffentlichungen

Koaxiale interferometrische Schichtdickenmessung
Ein neuer Sensor mit koaxialem Strahlengang ermöglicht die berührungslose, hochauflösende Messung der Dicke transparenter Schichten in einem Bereich…
Ein neuer Sensor mit koaxialem Strahlengang ermöglicht die berührungslose, hochauflösende Messung der Dicke transparenter Schichten in einem Bereich…