Flying Spot Scanner 310 winner of 2023 Prism Award

24 companies across eight categories were honored at the SPIE Prism Awards gala evening on February 1 during the Photonics West trade show in San Francisco.
One of them was Precitec Optronik, winner in the Test and Measurement category for its Flying Spot Scanner (FSS) 310.

“That our Flying Spot Scanner 310 has won at this year’s Prism Awards ceremony is a special distinction for us,” says Jean-Francois Pichot, Precitec Optronics Sales Director. “We’re convinced that this innovative scanner will bring customers a competitive advantage in measurement, inline inspection and quality control. It’s rightly been referred to as ‘a silent revolution in the world of semiconductor metrology’.” 

Innovation in photonics
The SPIE Prism Awards recognize “industrial innovation in photonics”, a description that certainly fits the Flying Spot Scanner 310. In a single scan it can measure the total thickness variation (TTV), bow and warp of an entire 12-inch wafer and detect any voids – in as little as 10 seconds per wafer for standard applications.

Unique features
The FSS 310 uniquely combines OCT with wide field-of-view scanning and solves the issue of ultra-precise measuring systems normally working very slowly and being extremely expensive. This scanner’s flexible and fast-moving measurement point within a wide field of view enables non-contact ROI inspection in much reduced cycle times – with no comprises on accuracy. The FSS 310 can also significantly boost productivity in semiconductor production by enabling a throughput of over 300 wafers per hour (including handling time). The key to such speed is its in-built scanning system which allows the long paths of linear axes to be replaced by short rotary movements. This significantly reduces measuring times and does away with the need for a precision axis.

Broad range of applications
Another key benefit is that the FSS 310 allows measurements from just one side of a wafer. It penetrates all the commonly used semiconductor materials (apart from metal) and can even measure objects behind or on the rear side of a wafer. This flexibility is also evident in the broad range of applications the FSS 310 is suitable for. When combined with devices from the Precitec CHRocodile® 2 IT family, the FSS 310’s fully variable scan trajectories, which the user can program, enable thickness and distance measurements of, for example, Si, doped Si, GaAs and SiC wafers. The FSS 310 can also measure the thickness of semiconductor component coatings (e.g. partial foliation of wafers) as well as measuring the bow of individual dies on wafers prior to further processing.

SPIE Prism Awards
“The 2023 Prism Award finalists represent the most innovative technologies and developments in the optics and photonics industry,” said SPIE CEO Kent Rochford. The annual gala celebration of the Prism Awards was again staged by SPIE, the international society for optics and photonics that has been bringing engineers, scientists, students, and business professionals together to advance light-based science and technology since 1955.

Precitec Optronik winner of Prism Award 2023
Prism Award

Dies könnte Sie auch interessieren

Kundengespräch während der Messe CIIF

Erfolgreiche Messe CIIF

Auf der Messe CIIF traf sich Precitec mit vielen Kunden und Partnern für einen persönlichen Austausch, um ein besseres und aktuelles Verständnis für…

Mehr erfahren

Mitarbeiter Precitec Indien

Precitec India gegründet

Mit Vorfreude versammelten sich alle zukünftigen Mitarbeitende der neu gegründeten Precitec India Pvt. Ltd. zu einer bedeutsamen Feier, die den…

Mehr erfahren

2D laser cutting

Intelligentes Laserschneiden für die emissionsfreie Mobilität von morgen

Effizienz und Langlebigkeit moderner Antriebssysteme hängt auch von der Fertigungsqualität jeder einzelnen Komponente ab. Deshalb forschen das IFSW…

Mehr erfahren

Die Laser World of Photonics war eine großartige Messe für Precitec

Die Laser World of Photonics in München war ein Erfolg

Eine wirklich großartige Woche auf der Laser World of Photonics in München liegt hinter uns. Als weltweit führende Plattform der Laser- und…

Mehr erfahren

Precitec ist Teil der New Champion Community des Weltwirtschaftsforums

Wir freuen uns, dass Precitec eingeladen wurde, dem Weltwirtschaftsforum als New Champion beizutreten. Dieses Netzwerk besteht aus mehr als 100…

Mehr erfahren

Cladding head CoaxPrinter has been awarded the Ringier Technology Innovation award

Weitere Auszeichnung im Bereich Auftragschweißens

Der CoaxPrinter, der auf mehreren Messen in China vorgestellt wurde, erhielt den "Ringier Technology Innovation Award" in der Kategorie…

Mehr erfahren

Prism Award 2023 für den Flying Spot Scanner 310

Precitec 3D Metrology gewinnt SPIE Prism Award 2023

Die Precitec Optronik GmbH wurde gestern Abend für den Flying Spot Scanner (FSS) 310 mit dem renommierten Prism Award 2023 in der Kategorie "Test and…

Mehr erfahren

Das Enovasense Team in Paris ist jetzt Teil der Precitec Gruppe

Precitec erwirbt Mehrheitsbeteiligung an Enovasense

Precitec hat eine Mehrheitsbeteiligung an dem französischen Start-up Enovasense erworben, das über die Technologie zur Messung der Dicke von…

Mehr erfahren

Precitec spendet in 2022

Unterstützung von gemeinnützigen Organisationen

Wir freuen uns sehr, auch in diesem Jahr wieder verschiedene karitative Einrichtungen und Organisationen in unserer Region zu unterstützen. Mit…

Mehr erfahren

Kooperation mit der Firma Blue Laser Tools GmbH

Blue LaserTools betreut unsere Kunden in den ostdeutschen Bundesländern

Die Firma Blue LaserTools GmbH vertritt Precitec in den ostdeutschen Bundesländern in allen Fragen zur Lasermaterialbearbeitung, Bearbeitungsoptiken,…

Mehr erfahren