Métrologie du semi-conducteur

Technique de pointe pour l’inspection de Wafer

Notre technologie de mesure optique non destructive offre une mesure et une analyse ultra-précises des puces semi-conductrices (wafers). Les données 3D à haute résolution collectées par ces capteurs permettent d’examiner la topographie des circuits de façon très détaillée.

 

Nos capteurs de métrologie pour semi-conducteurs comme le CHRocodile CLS mesurent jusqu’à 192 points de mesure en simultanée de sorte que le temps de cycle pour mesurer est beaucoup plus court comparé à un capteur point conventionnel.

Notre série CHRocodile 2 IT réalise des mesures d’épaisseurs de wafers, de colles et de revêtements à grande vitesse de façon à permettre un débit plus élevé de semi-conducteurs couplé à une qualité de produit plus précise et reproductible.

Ces outils fiables à grande cadence mesurent des wafers in situ pendant le processus de polissage pour une remontée en temps réel des informations. En fin de compte, le contrôle optique rend les processus de production de semi-conducteurs plus efficaces, ce qui réduit les pertes de matériels.

Métrologie 3D – Aperçu des applications

Métrologie 3D – Aperçu des industries

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