透過 OCT 即時監測和控制 LMD 中同軸送線的層高。

即時監控層高

使用線材的雷射金屬鍍膜 (LMD) 為快速成型製造開啟了新的可能性 - 但製程穩定性至關重要。在軸向 OCT 感測器的幫助下，Precitec 實現了在不中斷製程的情況下實時控制層高。其結果是：以線材為基礎的 LMD 具有更高的精确度、穩定性和生產率。

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這篇Photonics文章強調了先進的計量技術如何走向半導體製造的最前線，在先進的節點上實現更嚴格的製程控制。文章強調了高精度線上測量解決方案（例如Precitec 3D Metrology的解決方案）對於確保現代晶圓廠的良率、速度和可靠性的重要性。全文（英文）可點擊此連結閱讀。

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在此祝賀整個團隊獲得這個榮譽！