
Mappatura ottica a tutto campo e senza contatto per la topografia dei wafer e il controllo dell'archetto
Questo articolo di Photonics evidenzia come la metrologia avanzata si stia spostando in prima linea nella produzione di semiconduttori, consentendo un più stretto controllo dei processi nei nodi avanzati. Sottolinea l'importanza di soluzioni di misura in linea ad alta precisione, come quelle di Precitec 3D Metrology, pergarantire resa, velocità e affidabilità nei moderni stabilimenti. L'articolo completo (in inglese) può essere letto cliccando su questo link.

Mappatura ottica a tutto campo e senza contatto per la topografia dei wafer e il controllo dell'archetto