Flying Spot Scanner 310 winner of 2023 Prism Award

24 entreprises réparties dans huit catégories ont été récompensées lors de la soirée de gala des SPIE Prism Awards, le 1er février, pendant le salon Photonics West à San Francisco. L'une d'entre elles était Precitec, qui a remporté le prix dans la catégorie Test et mesure pour son Flying Spot Scanner (FSS) 310.

"Que notre Flying Spot Scanner 310 ait été primé lors de la cérémonie des Prism Awards de cette année est une distinction particulière pour nous", déclare Jean-François Pichot, directeur commercial de Precitec Optronics. "Nous sommes convaincus que ce scanner innovant apportera aux clients un avantage concurrentiel en matière de mesure, d'inspection en ligne et de contrôle qualité. Il a été qualifié à juste titre de "révolution silencieuse dans le monde de la métrologie de semi-conducteurs"."

"Innovation dans le domaine de la photonique"
Les SPIE Prism Awards récompensent "l'innovation industrielle en photonique", une description qui correspond incontestablement au FSS310. En un seul balayage, il peut mesurer la variation d'épaisseur totale (TTV), le bow et le warp de wafer 12 pouces en seulement 10 secondes par wafer pour les applications standard.

Des caractéristiques uniques
Le FSS 310 combine de manière unique l'OCT avec un balayage à large champ de vision et résout le problème des systèmes de mesure ultra-précis qui fonctionnent normalement très lentement et sont extrêmement coûteux. Le point de mesure flexible et rapide de ce scanner dans un large champ de vision permet une inspection sans contact de la ROI (Region Of Interest) dans des temps de cycle beaucoup plus courts, sans que la précision soit compromise. Le FSS 310 peut également augmenter considérablement la productivité dans la production de semi-conducteurs en permettant un débit de plus de 300 plaquettes par heure (y compris le temps de manipulation). La clé d'une telle vitesse est son système de balayage intégré qui permet de remplacer les longs trajets des axes linéaires par de courts mouvements rotatifs. Cela réduit considérablement les temps de mesure et rend inutile l'utilisation d'un axe de précision.

Une large gamme d'applications
Un autre avantage clé est que le FSS 310 permet d'effectuer des mesures en plaçant le capteur d’un seul côté du wafer. Il pénètre tous les matériaux semi-conducteurs couramment utilisés (à l'exception du métal) et peut même mesurer des objets derrière ou sur la face arrière du wafer. Cette flexibilité est également évidente dans la large gamme d'applications pour lesquelles le FSS 310 est adapté. Lorsqu'il est associé aux appareils de la famille Precitec CHRocodile® 2 IT, les trajectoires de balayage entièrement variables du FSS 310, que l'utilisateur peut programmer, permettent de mesurer l'épaisseur et la distance, par exemple, de tranches de Si, Si dopé, GaAs et SiC. Le FSS 310 peut également mesurer l'épaisseur des traitements des composants semi-conducteurs ainsi que mesurer la courbure de chaque composant présent sur les wafers avant un traitement ultérieur.

Prix Prism de la SPIE
"Les finalistes des Prism Awards 2023 représentent les technologies et les développements les plus innovants dans le secteur de l'optique et de la photonique", a déclaré Kent Rochford, PDG de SPIE. La célébration du gala annuel des Prism Awards a de nouveau été organisée par la SPIE, la société internationale d'optique et de photonique qui réunit des ingénieurs, des scientifiques, des étudiants et des professionnels du monde des affaires pour faire progresser la science et la technologie basées sur la lumière depuis 1955.