
웨이퍼 지형 및 보우 제어를 위한 풀필드, 비접촉식 광학 매핑
이 포토닉스 기사에서는 첨단 계측이 반도체 제조의 최전선으로 이동하여 첨단 노드에서 더 엄격한 공정 제어를 가능하게 하는 방법을 강조합니다. 또한 최신 팹에서 수율, 속도 및 신뢰성을 보장하기 위해 Precitec 3D Metrology와같은 고정밀 인라인 측정 솔루션의 중요성을 강조합니다. 이 링크를 클릭하면 전체 기사(영문)를 읽을 수 있습니다.

웨이퍼 지형 및 보우 제어를 위한 풀필드, 비접촉식 광학 매핑