Tecnología de medición óptica Industria de semiconductores
Inspección de obleas de última generación
La tecnología de medición óptica de Precitec permite realizar mediciones y análisis de alta precisión y no destructivos de chips semiconductores(obleas). Los sensores proporcionan datos 3D de alta resolución que permiten inspeccionar la superficie hasta el más mínimo detalle.
El sensor óptico de líneas CHRocodile CLS registra datos con hasta 192 puntos de medición simultáneos. Esto significa que se mide un área mucho mayor en el mismo tiempo que con los sensores de puntos convencionales.
Nuestros dispositivos CHRocodile 2 IT realizan mediciones de grosor en obleas, uniones y grosores de capa a velocidades de medición muy elevadas. Esto se traduce en un mayor rendimiento de la producción, con una alta calidad constante del producto. Los fiables sensores de alta velocidad miden los espesores de los extremos in situ durante los procesos de CMP, esmerilado posterior y grabado por centrifugación.
En última instancia, la tecnología de medición óptica proporciona a la industria de semiconductores una producción más eficiente con menos residuos.
