CHRocodile 2 DPS – 高精度な多層測定のためのデュアルチャンネルセンサー
要求の厳しい測定課題においても、高精度な非接触測定を実現する、個別に設定可能な2つの測定チャンネル。
ウェーハの厚さ、段差の高さ、あるいは多層システムなど、高度な測定課題では、しばしば異なる測定範囲、分解能、あるいは測定位置が必要となります。単一チャンネルのシステムではすぐに限界に達してしまいますが、複数のセンサーを使用すると、統合の負担やシステムの複雑さが増大してしまいます。
CHRocodile 2 DPSは、1台のコントローラに2つの独立して設定可能な測定チャンネルを統合し、非接触での厚さ、段差、多層測定において最大限の柔軟性を提供します。さまざまな光学プローブを自由に組み合わせることができ、材料、形状、測定課題に合わせて最適に調整可能です。
この柔軟なセンサーアーキテクチャにより、ハードウェアおよび統合にかかる負担が軽減され、機械メーカーやシステムインテグレーターに対し、多種多様な測定課題に対応する高性能なOEMソリューションを提供します。
厚さ測定、段差測定、多層測定に対応した2-in-1ソリューション
費用対効果が高い
段差高さの測定、多層厚さの測定、および不透明材料の層厚測定において、光学センサ「CHRocodile 2 DPS」は、2つの独立した測定チャンネルを1台のデバイスに統合しています。 これにより、設置スペースの削減や生産環境への統合の容易化といったメリットがあり、当然ながらコスト効率も向上します。
測定結果の直接出力
内蔵プロセッサは、両方の測定チャンネルからのデータを処理し、同期・演算を行い、材料の厚さと段差の高さに関する結果を直接出力します。 測定結果は、外部での追加のデータ処理を必要とせずに利用可能です。そのため、CHRocodile 2 DPSは、不透明な材料や多層材において、材料の厚さが単一の光学プローブの測定範囲を超える場合の両面厚さおよび段差高さの測定に最適なソリューションです。
多様な測定課題に対応する柔軟な測定ヘッドの選択
CHRocodile 2 DPSは、Precitec社の幅広い色収差共焦点光学プローブ製品群と互換性があります。測定範囲、ワーキングディスタンス、解像度は、それぞれの測定課題に合わせて最適に調整可能です。 光学プローブに応じて、100 µmから38.5 mmまでの測定範囲に加え、高い軸方向の分解能および側面分解能が利用可能です。
統合が容易なモジュール式センサーアーキテクチャ
CHRocodile 2 DPSは、コントローラー、光ファイバー、および光学プローブで構成されています。モジュール式のアーキテクチャにより、機械や設備への柔軟な組み込みが可能です。 幅広い色収差共焦点光学プローブのラインナップから、測定範囲、ワーキングディスタンス、解像度、形状を、それぞれの測定課題に合わせて最適に選択することができます。
厚さ、段差、多層厚さの測定における実績のあるアプリケーション
CHRocodile 2 DPSを採用している業界：
ガラス産業：ガラス厚さ測定 、フロートガラスの厚さ測定、ガラス壁の厚さ測定、容器用ガラスの厚さ測定、透明な多層構造の分析、ガラス両面の厚さ測定
半導体産業： ウェーハ厚さの測定 、シリコンウェーハの厚さ測定、透明ウェーハの測定、ウェーハ両面測定、層構造の測定
e-モビリティ／自動車産業： 電極の厚さ測定 、バッテリーセパレーターの厚さ測定、コーティング厚さの測定、フィルムの厚さ測定
プラスチック産業：フィルム厚さ測定、プラスチック板の厚さ測定、透明フィルムの厚さ、インラインフィルム厚さ測定
技術データ
- 測定回数／秒：チャンネルあたり最大40,000 Hz
- クロマティック測定範囲：使用する光学プローブによって異なります
- 分解能：使用する光学プローブ、プローブによって異なります
- 外部デバイスとの同期：トリガー入力、同期出力、5つのエンコーダ入力
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