Konfokaler 3D Liniensensor für High Speed Inspektion
Das CHRocodile CLS 2.0 ermöglicht Messungen an komplexen Oberflächen mit großen Steigungen, mit sehr hoher Geschwindigkeit und ohne Abschattung.
Der konfokaler High Speed 3D Liniensensor misst mit äußerster Präzision und hoher Auflösung auf nahezu allen Materialien, auch auf anspruchsvollen und reflektierenden. Seine Vielseitigkeit ermöglicht eine breite Palette von Messaufgaben.
Das CHRocodile CLS 2.0 hilft, die Betriebskosten zu senken, spart Zeit und gewährleistet eine 100%ige Kontrolle in Industrie 4.0-Anwendungen. Der konfokaler High Speed 3D Liniensensor CHRocodile CLS 2.0 ist zudem deutlich kleiner und leichter als vergleichbare Sensoren.
Anwendungen für die Halbleiter Industrie: Inspektion nach Drahtbonden, Bump-Messungen, Inspektion von Waferkanten, Inspektion von Dicing-Rillen, Defekte oder Risse in Wafer Dies, Fotomaskenlithografie
Weitere Anwendungen für Consumer Electronic: Inspektion der Gehäusetopografie, Inspektion von leicht, mittel und stark gekrümmten Oberflächen, Fasen- und Spline-Inspektion, Inspektion von Durchmessern/Löchern/Stufenhöhen, kosmetische Inspektion mit zusätzlichen Höhendaten
Vorteile
- Hohe Geschwindigkeit, äußerste Präzision
Mit seinen 21,6 Millionen Messpunkten pro Sekunde und einer Scanfrequenz von bis zu 36.000 Zeilen pro Sekunde ist das CHRocodile CLS 2.0 ideal für die Inline-Qualitätskontrolle geeignet, bei der die Taktzeit entscheidend ist. Außerdem liefert es Daten mit einer extrem hohen lateralen und axialen Auflösung für ultrapräzise Messungen. - Große Flexibilität
Die Vielseitigkeit dieses konfokalen Liniensensors löst eine Vielzahl von Messaufgaben, z. B. Topografie- und Schichtdickenmessungen, auch an Mehrschichtsystemen wie Oberflächen unter transparenten Materialien sowie komplexe Geometrien. Selbst auf schwierigen Materialien, z. B. diffusen, rauen, farbigen, polierten oder reflektierenden Oberflächen, liefert das CHRocodile CLS 2.0 genaue Ergebnisse bei hoher Geschwindigkeit. - Keine Abschattung
Das koaxiale Messprinzip des CHRocodile CLS 2.0 überlagert einfallendes und reflektiertes Licht. Es gibt also keine Probleme bei der Messung von Geometrien, bei denen eine trianguläre Messanordnung zu Abschattungen führen würde. - Leicht austauschbare optische Messköpfe
Mit drei leicht austauschbaren optischen Messköpfen haben Sie für jede Messaufgabe den richtigen Messkopf - mit minimalem Aufwand. Wählen Sie eine lange Linie von bis zu 12 mm für die schnelle Inspektion großer Teile oder eine kürzere Linie mit hervorragender numerischer Apertur für die Messung stark gewinkelter Oberflächen, z. B. der Fase eines Smartphones oder von Batterien oder Bildschirmgläser einer Smartwatch. - Hohe Punktdichte
Das CHRocodile CLS 2.0 scannt Objekte mit 1.200 Punkten pro Zeile. Zusammen mit einer hohen lateralen Auflösung, die mit dem Pitch vergleichbar ist, und einer ausgezeichneten axialen Auflösung erhält man Messungen mit einer hohen Dichte an nicht redundanten Informationen und von sehr hoher Qualität.
Technische Daten
- Messrate: bis zu 36,000 Linien pro Sekunde
- Messbereich: 680 – 10,600 µm*
- Laterale Auflösung: 1 - 8.5 µm*
- Synchronisation mit externen Geräten: Trigger-Eingang, synchronisationsausgang, 5 Encoder-Eingänge, DLL mit Beispielcode
*Richtet sich nach verwendetem Messkopf
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